预算8343万元！华中科技大学近期大批仪器采购意向

所属分类：新闻资讯发布时间：2025-08-27 15:46:44点击量：

　　5%；刻蚀形貌：85°±5°。服务要求：设备安装调试后，提供不少于3个工作日的技术培训服务；所有硬件一年免费保修、电线小时内响应；提供设备终身维护维修服务。

　　拟采购氧化物电介质磁控溅射仪1台，该设备是镀膜的主要技术之一，通过控制真空室内的气压与溅射功率，就可以获得稳定的沉积速率，通过精确控制镀膜时间，容易获得均匀的高精度的膜厚。主要用于Al2O3、Ta2O5、HfO2等电介质薄膜材料生长。 1.基片尺寸：8 英寸（兼容小尺寸基片） 2、磁控溅射靶：8英寸,3套； 3、配置1套直流电源，2套射频电源。服务要求：设备安装调试后，提供不少于3个工作日的技术培训服务；所有硬件一年免费保修、电线小时内响应；提供设备终身维护维修服务。

　　拟采购晶圆键合机1台，该设备以键合胶为中间层，将两片衬底（硅、玻璃、陶瓷、金属或其它单晶材料）通过加热加压的方式贴合在一起，以满足封装或后续减薄等工艺需求。晶圆尺寸：4、6、8英寸键合压力：Max 100KN 键合温度：550℃（可选配至650℃）服务要求：设备安装调试后，提供不少于3个工作日的技术培训服务；所有硬件一年免费保修、电线小时内响应；提供设备终身维护维修服务。

　　拟采购一套化学链燃烧源头碳捕集装置，其组成为“多功能可变串行流化床单元”、“能量梯级利用单元”、“多参数协同测量与控制单元”三个主体装备及配套设施。其中，多功能可变串行流化床单元包括空气反应器、燃料反应器、底部返料阀、旋风分离器、双向返料阀等反应器主体部件以及给煤、氧载体补料等反应器运行辅助部件，同时还包括反应单元上下游的风机、烟道、后补燃器、CO2压缩纯化设备、烟囱等部件；能量梯级利用单元包括汽水换热所需要的多级换热器、汽包、集气分气、供水等设备；多参数协同测量与控制单元包含整个系统中各处的温度、压力监测系统，烟气常规组分、烟气污染物组分在线抽样监测系统，氧载体分离、取样的在线、离线监测系统，以及DCS集中控制系统。系统热功率2MWth，主要燃料为煤，也可兼容生物质燃料。需要配备规模试验室所有基础设施，满足水电气需求。（1）主要技术参数或者指标：系统热功率2MWth。（2）主要包括化学链燃烧冷态/热态反应器、汽水系统、CO2压缩纯化系统以及配套设备。交货期：合同签订后8个月内，质保期：所有硬件三年免费保修、所有软件一年免费保修升级。

　　往复泵泵体3台，备品备件2套。往复泵泵体是某往复泵组设备中的一个部件。往复泵备品备件及随机工具是该往复泵组设备产品交付的一个重要组成部分。按要求进行往复泵泵体的生产和质量控制，质量记录齐全，所提供的往复泵泵体、备品备件及工具满足规定的技术指标要求和质量要求。往复泵泵体质量记录要求：1)主要原材料材质证书、化验报告、力学性能检测报告；2)主要外购件合格证书、回厂复验报告；3)零部件加工、检验记录；4)零部件及泵体装配检验记录；5)特殊过程、关键过程检验记录；6)过程试验记录；7)按要求完成检验，并提供合格证书。往复泵备品备件及随机工具质量记录要求：1)主要外购件合格证书；2) 零部件加工、检验记录。质保期为甲方交付用户后1年。